林本坚博士是中国台湾清华大学半导体研究学院院长，清大-台积电联合研发中心主任，2011~2015担任台积电研发副总和独一杰出院士。2000自美回台担任台积电资深处长，1991创办领创公司，1970~1991在美国IBM先后任研究员、研发经理、部经理等，推进光刻技术已超过半世纪。

林博士是美国国家工程院院士、中国台湾中央研究院院士、工业研究院院士、IEEE会士、SPIE会士，俄亥俄州立大学和中国台湾大学的杰出校友，在前者得硕士和博士，后者得学士。

主要奖项：

2018未来科学大奖–数学与计算机科学奖

2017 SPIE杰出光刻贡献奖

2013 IEEE西泽润一勋章

2009 IEEE克雷多、布鲁内提奖

2009俄亥俄州立大学的便雅悯、廉米勋章

2006光学工程学会光学工程奖

2004 SPIE第一任弗里茨、泽尔尼克奖

两项台积电杰出贡献奖、十项IBM发明奖、一项IBM杰出技术贡献奖

已著作两本书、三章书、113篇论文、88项美国专利。2002~2011 JM 3创刊主编。